半導體製造中的微影製程。
Nova Gas Technologies成立於1964年，為準分子雷射混合氣體的主要製造供應商。
以進口，純化和銷售稀有氣體：氪，氖和氙氣，並提供高純度準分子雷射混和氣體，滿足客戶需求。
主要運用
Laser Gas
| Gas | Purity |
|---|---|
| F2/Ar/Ne | Fluorine:99.1% Argon:99.9995% Neon:99.999% |
| F2/Kr/Ne | Fluorine:99.1% Krypton:99.999% Neon:99.999% |
| Xe/Ar/Ne | Xenon:99.999% Argon:99.9995% Neon:99.999% |
| Kr/Ne | Krypton:99.999% Neon:99.999% |
| Ne | Neon:99.999% |
| Hcl/H2/Ne | Hcl:99.999% H2:99.999% Neon:99.999% |